noticias de la compañía sobre Cartuchos filtrantes de lodos CMP para la fabricación de semiconductores

Un cartucho de filtro de lodo CMP es un elemento de filtración de alto rendimiento utilizado en el proceso de pulido químico mecánico de la fabricación de semiconductores.,Su propósito es lograr la eliminación controlada de material y la planarización superficial en las obleas.

En comparación con la filtración de agua ultrapura o la filtración química general, la filtración de lodos CMP es más compleja.y contaminación sin eliminar las partículas abrasivas útiles que se requieren para el rendimiento de pulido.

Por lo tanto, la filtración CMP no se trata simplemente de elegir la clasificación de micrones más pequeña. Un cartucho de filtro CMP adecuado debe equilibrar el control de partículas, la estabilidad del lodo, el rendimiento del flujo, la caída de presión,y compatibilidad de procesos.

En los procesos CMP, la distribución del tamaño de las partículas está estrechamente relacionada con la calidad del pulido.defectos de la superficie, tasa de eliminación inestable, o pérdida de rendimiento.

Al mismo tiempo, si el filtro está demasiado apretado o no es adecuado para el estiércol, puede eliminar partículas abrasivas útiles, cambiar las propiedades del estiércol, aumentar la caída de presión o acortar la vida útil del filtro.

Los objetivos principales de la filtración de estiércol CMP incluyen:

• Eliminación de partículas y aglomerados de gran tamaño.
• Reducción del riesgo de arañazos durante el pulido de las obleas.
• Mantener una distribución estable de las partículas del estiércol.
• Protección de las bombas, válvulas, boquillas y herramientas de pulido.
• Apoyar un rendimiento de pulido constante y la estabilidad del proceso.

La selección del material de filtro depende de la composición química del estiércol, el tipo de abrasivo, el valor del pH, los componentes oxidantes, la velocidad de flujo y los requisitos de limpieza.

• Cartuchos de filtro UPE Se utilizan comúnmente en el estiércol de alta pureza y en la filtración química electrónica debido a su baja capacidad de extracción, buena limpieza y prestaciones estables de retención de partículas.
• Cartuchos de filtro de PP Los materiales de PP proporcionan un buen control de costos y una amplia compatibilidad en muchas aplicaciones industriales y electrónicas de líquidos.
• Cartuchos de filtro de PESpueden seleccionarse para determinadas aplicaciones de estiércol a base de agua en las que se requiera un buen rendimiento de flujo y una eficiencia de filtración estable.
• Cartuchos de filtro de PTFE puede considerarse para entornos químicos especiales que requieren una mayor resistencia química.

En aplicaciones reales de CMP, el medio de filtro, la capa de soporte, el núcleo, la jaula, la tapa final y el material de sellado deben evaluarse juntos para evitar problemas de compatibilidad o contaminación secundaria.

La precisión de filtración del estiércol CMP depende del tipo de estiércol y del objetivo del proceso.Algunas aplicaciones se centran en la eliminación de partículas grandes y aglomerados, mientras que otros requieren un control más preciso de los contaminantes submicrónicos.

Si el filtro retiene demasiadas partículas abrasivas normales, puede cambiar la concentración efectiva de partículas de la suspensión y afectar el rendimiento de pulido..Si el filtro está demasiado abierto, las partículas de gran tamaño pueden pasar y aumentar el riesgo de arañazos.

Por esta razón, la selección del filtro CMP debe tener en cuenta tanto la calificación de filtración como el comportamiento real del lodo, incluida la distribución del tamaño de las partículas, la viscosidad, el caudal, la caída de presión y la vida útil del filtro..

Los cartuchos de filtro CMP pueden utilizarse en diferentes puntos del sistema de suministro de estiércol.

• Filtración de la producción de estiércol
  Se utiliza durante la fabricación o preparación de lodos para eliminar las partículas grandes no deseadas y mejorar la consistencia del producto.
• Filtración del circuito de distribución
  Se utiliza en sistemas de circulación de estiércol para controlar las partículas generadas durante el almacenamiento, bombeo o transporte.
• Filtración en el punto de uso
  Instalado cerca de las herramientas de CMP para proporcionar el control final de partículas antes de que el lodo llegue a la almohadilla de pulido o a la superficie de la obletera.
• Filtración de protección del lado de la herramienta
  Se utiliza para proteger las boquillas, válvulas y líneas de suministro contra el bloqueo causado por aglomerados o residuos de proceso.

Un sistema de filtración bien diseñado puede utilizar filtración por etapas para reducir gradualmente la carga de partículas y proteger los filtros finales de alta precisión.

La filtración con CMP requiere una evaluación cuidadosa tanto del rendimiento del filtro como de la estabilidad del lodo.

• La primera preocupación es el control de partículas. El filtro debe eliminar eficazmente las partículas de gran tamaño y los aglomerados que pueden causar defectos en la oblea.
• La segunda preocupación es la compatibilidad con la suspensión, ya que el filtro no debe alterar significativamente la distribución de partículas del abrasivo útil.
• La tercera preocupación es la caída de la presión, que puede afectar la estabilidad de la entrega del lodo y aumentar la carga del sistema.
• La cuarta preocupación es la compatibilidad química: el material del filtro debe coincidir con la composición química y las condiciones de funcionamiento del estiércol.
• La quinta preocupación es la limpieza: para las aplicaciones de semiconductores son importantes los materiales de baja extracción, la baja emisión de partículas y la fabricación limpia.
• La sexta preocupación es la vida útil: el filtro debe proporcionar un funcionamiento estable sin bloqueos frecuentes o sustitución prematura.
• La séptima preocupación es la fiabilidad del sellado: cualquier fuga de derivación puede reducir la eficacia de la filtración y aumentar el riesgo del proceso.

Pullner ofrece soluciones de cartuchos de filtro para filtración de lodos CMP y aplicaciones de alta pureza relacionadas con semiconductores.y otros materiales de acuerdo con diferentes requisitos de proceso.

Pullner puede ayudar a los clientes a seleccionar los filtros CMP adecuados en función del tipo de lodo, la posición de filtración, el caudal, la presión, la temperatura, el objetivo de control de partículas, el modelo de filtro existente, los dibujos,o muestras.

Para los clientes que se enfrentan a la contaminación por partículas de estiércol, alta caída de presión, corta vida útil del filtro, rendimiento de pulido inestable o necesidades de reemplazo de filtros importados,Pullner puede ayudar a analizar las condiciones de trabajo y recomendar una solución de filtración adecuada.

Los cartuchos de filtro de lodo CMP desempeñan un papel importante en los procesos de pulido de semiconductores.pero también para mantener la estabilidad del estiércol y reducir los riesgos de defectos de las obleas.

Un filtro CMP adecuado debe equilibrar la eliminación de partículas, la compatibilidad con el lodo, la caída de presión, el rendimiento del flujo, la limpieza y la vida útil.

Pullner se compromete a proporcionar soluciones fiables, rentables y personalizadas de cartuchos de filtro de lodo CMP para clientes de semiconductores en todo el mundo.